*、货物需求*览表
包号 |
货物名称 |
数量 |
交货期 |
交付地点 |
* |
**吋晶圆清洗机 |
*套 |
合同签订后的*个月内交货 |
****用户指定地点 |
注:投标人须对上述投标内容中完整的*包进行响应,不完整的投标将视为非响应性投标予以拒绝。
*、总则
*、投标要求
*.*供应商在准备投标文件时,务必在所提供的商品的技术规格文件中,标明型号、商标名称、目录号。
*.*供应商提供的货物须是成熟的全新的产品,不接受*手翻新设备。其技术规格应符合采购文件的要求。如与采购文件的技术规格有偏差,应提供技术规格偏差的量值或说明(偏离表)。如供应商有意隐瞒对规格要求的偏差或在开标后提出新的偏差,采购人有权拒绝其投标。
*.*供应商提供的产品样本,必须是“原件”而非复印件,图表、简图、电路图以及印刷电路板图等都应清晰易读。采购人有权不付任何附加费用复制这些资料以供参考。
*.*供应商的投标产品应符合国家有关部门规定的相应技术、节能、安全和环保标准;如国家有关部门对供应商的投标产品有强制性规定或要求的,则供应商的投标产品必须符合相应规定或要求。
*、评标标准
*.*除采购文件中指定的附件和专用工具外,供应商应提供仪器设备的正常运行和常规保养所需的全套标准附件、专用工具和消耗品。供应商在投标书中需列出这些附件和工具的数量和单价的清单,这些附件和工具的报价的总值需计入投标价中。
*.*对于标书技术规范中已列出的作为查询选件的附件、*配件、专用工具和消耗品,投标文件中应列明其数量、单价、总价供采购人参考。供应商也可推荐采购人没有要求的附件或专用工具作为选件,并列明其数量、单价、总价供采购人参考。选件价格不计入评标价中。选件*旦为采购人用户接受,其费用将加入合同价中。
*.*为便于用户进行接收仪器的准备工作,供应商应在合同生效后**天内向用户提供*套完整的使用说明书、操作手册、维修及安装说明等文件。另*套完整上述资料应在交货时随货包装提供给用户,这些费用应计入投标价中。
*.*关于设备的安装调试,如果有必要的安装准备条件,供应商应在合同生效后*个月内向采购人提出详细的要求或计划。安装调试的费用应计入投标价中,并应单独列出,供评标使用。
*.*制造厂家提供的培训指的是涉及货物的基本原理、操作使用和保养维修等有关内容的培训。培训教员的培训费、旅费、食宿费等费用和培训场地费及培训资料费均应由供应商支付。
*.*在评标过程中,采购人有权向供应商索取任何与评标有关的资料,供应商务必在接到此类要求后,在规定时间内予以答复。对于无答复的供应商,采购人有权拒绝其投标。
*、工作条件
除非在技术规格中另有说明,所有仪器、设备和系统都应符合下列要求:
*.*适于在气温为摄氏-**℃~+**℃和相对湿度为**%的环境条件下运输和贮存。
*.*适于在电源****(**%)/****、气温摄氏+**℃~+**℃和相对湿度小于**%的环境条件下运行。能够连续正常工作。
*.*配置符合中国有关标准要求的插头,如果没有这样的插头,则需提供适当的转换插座。
*.*如产品达不到上述要求,供应商应注明其偏差。如仪器设备需要特殊工作条件(如水、电源、磁场强度、温度、湿度、动强度等)供应商应在投标书中加以说明。
*、验收标准
除非在具体要求中另有说明,所有仪器、设备和系统按下列要求进行验收:
*.*仪器设备运抵安装现场后,采购人将与供应商共同开箱验收,如供应商届时不派人来,则验收结果应以采购人的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,采购人有权要求供应商负责更换。
*.*验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准(该指标应不低于采购文件所要求的指标)。任何虚假指标响应*经发现即作废标,供应商必须承担由此给采购人带来的*切经济损失和其它相关责任。
*.*验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行,验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。
*、本具体要求中标注“★”号的为实质性要求,不满足其投标将被拒绝。
*、如在具体要求中有本总则不*致之处,以具体要求中的要求内容为准。
*、具体要求
设备名称:**吋晶圆清洗机
*.技术要求:
*、工作条件
*.*工作环境:**-**摄氏度,**-**%相对湿度,***级以下无尘环境;
*.*电源:****/*****相*线
*.*配备纯净水;
*.*配备压缩空气和氮气;
*.*选配特殊气体:氩气、氧气等;
*.*化学废弃物排放:废水、有机物或者酸碱;
*.*热排风和普通排风以及酸碱排风。
*、设备用途说明:
*.*主要功能是对**英寸晶圆进行浸泡蚀刻、清洗和干燥等功能。
*.技术要求及参数:
▲*.*全模块需支持**英寸(*****)、*英寸(*****)晶圆和**英寸(*****)薄膜框架。
*.*操作平台:
*.*.*上下料:手动或全自动
▲*.*.*过程控制:***控制和工控机控制
▲*.*.*进液控制:自动进液、补液
*.*.*方向控制:客户指定机台走向
*.*.*机械手承载:最大承载重量****/次
*.*.*花篮载片数量:最多**片/次/篮
*.*功能要求:
▲*.*.*机械手数量:≥*个
*.*.*具有上下料花篮防反检测
*.*.*具有上下料花篮未放到位检测
▲*.*.*配液、补液精准度:偏差≤±*%
▲*.*.*各槽具有工作液位检测工艺槽全部氮气液位,***槽全部为浮球液位
*.*.*具有干烧硬件和软件双重保护
*.*.*具有欧姆龙电机控制
▲*.*.*具有压篮保护功能
*.*.*具有提篮保护功能
*.*.**具有液位保护功能
*.*.**具有温度保护功能
▲*.*.**具有泄露侦测功能
*.*.**使用温度范围**-**℃,相对湿度<**%
*.*.**工艺槽全部配置自动槽盖
★*.*.**所有*个湿法工艺槽配置电子夹管流量计:重复精度*.**%(原厂报告或资料)
*.*设备配置要求
*.*.*规范要求:设备的设计、选购、制造、检验和测试均按照相关国家、半导体行业标准(****-**-**)执行,*******质量管理体系进行规范和保证,但合同中或技术文件中另有规定的除外。外购配件执行相应的国家标准、行业标准、规范及企业标准
*.*.*设备配置:设备主体、电气控制部分、化学工艺槽等;并提供与厂务供电、供气、供水、排废水、排气系统配套的接口等。
▲*.*.*主体:设备主体使用******板材,双层防漏
▲*.*.*骨架:******+**板组合而成,防止外壳锈蚀
*.*.*安全门:设备安装透明***门,分隔与保护人员安全,边缘处设备密封条,安全门进风处装有过滤网
*.*.*台面:结构设计充分考虑长期工作在酸腐蚀环境
*.*.*工艺槽:模组化设计,腐蚀槽、纯水冲洗槽放置在*个统*的承漏底盘中底盘采用满焊接工艺加工而成,杜绝机台的渗漏危险
*.*.*管路系统:位于设备下部,所有工艺槽、管路、阀门部分均有清晰的标签注明;药液管路采用***管,纯水管路采用***+***管,化学腐蚀槽废液、冲洗废水通过专用管道排放
*.*.*电气保护:电器控制、气路控制和工艺槽控制部份在设备后部单独电器控制柜,电气元件有充分的防护以免酸雾腐蚀以保障设备性能运行稳定可靠;所有可能与酸雾接触的电气及线路均***防腐隔绝处理,电气柜***/**充气保护其中的电器控制元件。
*.*.**工作照明:上方防酸型***照明灯*******可更换。
*.*.**机台支脚:有滑轮装置及固定装置并加防腐座,并且有高低调整及锁定功能。
*.*.**安全保障:完善的报警和保护设计,排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁,直观的操作界面,清晰的信息提示,保障了生产、工艺控制和安全性*色警示灯置于机台上方明显处,设备共安装*个急停按钮,前面装有*个按钮,后面装有*个按钮。
*.*.**抽风系统:设备顶部安装有风阀,抽风管安装有风压报警,可对抽风状态进行监控和调节功能
*.*.**进风系统:设备侧部安装有高效过滤器,满足设备进风需要。
*.*功能模块配置要求
▲*.*.*工艺流程与工艺模块要求:→*#:上/下料→*#:氢氟酸槽*→*#:****→*#:氢氟酸槽*→*#:****→*#:碱中和槽→*#:****→*#:氮气烘干槽
*.*.*上下料台
★*.*.*.*材质:***(提供材质物性资料)
*.*.*.*工能:上下料
*.*.*.*工位:单花篮
*.*.*.*有料检测:料台装有有料检测,防止程序发生误动作
*.*.*.*工作方式:手动放置花篮至料台上,等待机械手夹取
*.*.*氢氟酸槽*
*.*.*.*槽内介质:**(**+***)
▲*.*.*.*槽体功能:浸泡、循环、超声、过滤、抛动(频率可调)、鼓泡
★*.*.*.*槽体材质:****槽体(提供材质物性资料)
*.*.*.*槽体尺寸:≥****************(有效尺寸)
*.*.*.*使用温度:**-**摄氏度(无尘间室温)
▲*.*.*.*超声方式:底部超声频率******,≥***功率可调
▲*.*.*.*过滤方式:***过滤器**英寸,滤芯精度:*μ*
*.*.*.*液位方式:氮气液位超声保护液位
*.*.*.*进液方式:自动进补液
*.*.*.**药液寿命:药液使用周期分为时间寿命和批次寿命,可选择
★*.*.*.**循环方式:上溢流下进液,****磁悬浮泵循环,规格流量≥***/***(原厂报告或资料)*.*.*.**排液方式:自动排放进厂务排废管排液方式低于**°*
*.*.*.**槽盖:自动槽盖、关盖角度小于**°
*.*.*.**流量计:电子夹管流量计
▲*.*.*.**循环流量:在过滤器后端最高可达到***/***
▲*.*.*.**具备自动固定点位及时刻点可编程控制的药液取样、**值及电导率检测等能力
*.*.****槽*
*.*.*.*槽内介质:***
▲*.*.*.*槽体工能:喷淋、注水、溢流、鼓泡、快排
★*.*.*.*槽体材质:*******板(提供材质物性资料)
*.*.*.*槽体尺寸:≥****************(有效尺寸)
*.*.*.*使用温度:**-**摄氏度(无尘间室温)
*.*.*.*鼓泡方式:***或***管均匀分布在底部,鼓泡管上部装有洞洞板
*.*.*.*喷淋方式:喷淋管分布在槽体上部*侧,压力,角度均可调
*.*.*.*活水机构:喷淋管路和溢流管路装有手自*体活水阀门
▲*.*.*.*进液方式:自动进水喷淋注水时间≤***
▲*.*.*.**排液方式:快排排放排放时间≤***
*.*.*.**满足工艺流程:第*步:喷淋打开,快排同时打开;第*步:注水打开,喷淋打开,鼓泡打开;第*步:水满后,溢流打开,浸泡完成;以上步骤时间以秒为单位,时间可设置,批次可设置
*.*.*氢氟酸槽*
*.*.*.*槽内介质:**(**+***)
▲*.*.*.*槽体功能:浸泡、循环、超声、过滤
★*.*.*.*槽体材质:****槽体(提供材质物性资料)
*.*.*.*槽体尺寸:大于等于****************(有效尺寸)
*.*.*.*使用温度:**-**摄氏度(无尘间室温)
▲*.*.*.*超声方式:底部超声频率******,≥***功率可调
▲*.*.*.*过滤方式:***过滤器**寸
*.*.*.*液位方式:氮气液位超声保护液位
*.*.*.*进液方式:自动进液
*.*.*.**药液寿命:药液使用周期分为时间寿命和批次寿命,可选择
★*.*.*.**循环方式:上溢流下进液,****磁悬浮泵循环,规格流量≥***/***(原厂报告或资料)*.*.*.**排液方式:自动排放进厂务排废管排液方式低于**°*
*.*.*.**槽盖:自动槽盖、关盖角度小于**°
*.*.*.**流量计:电子夹管流量计
▲*.*.*.**循环流量:在过滤器后端最高可达到***/***
▲*.*.*.**具备自动固定点位及时刻点可编程控制的药液取样、**值及电导率检测等能力
*.*.****槽*
*.*.*.*槽内介质:***
▲*.*.*.*槽体工能:喷淋、注水、溢流、鼓泡、快排
★*.*.*.*槽体材质:*******板(提供材质物性资料)
*.*.*.*槽体尺寸:≥****************(有效尺寸)
*.*.*.*使用温度:**-**摄氏度(无尘间室温)
*.*.*.*鼓泡方式:***或***管均匀分布在底部,鼓泡管上部装有洞洞板
*.*.*.*喷淋方式:喷淋管分布在槽体上部*侧,压力,角度均可调
*.*.*.*活水机构:喷淋管路和溢流管路装有手自*体活水阀门
▲*.*.*.*进液方式:自动进水喷淋注水时间≤***
▲*.*.*.**排液方式:快排排放排放时间≤***
*.*.*.**满足工艺流程:第*步:喷淋打开,快排同时打开;第*步:注水打开,喷淋打开,鼓泡打开;第*步:水满后,溢流打开,浸泡完成;以上步骤时间以秒为单位,时间可设置,批次可设置
*.*.*中和槽
*.*.*.*槽内介质:低浓度***/低浓度****或弱酸
▲*.*.*.*槽体功能:浸泡、循环、过滤、抛动(频率可调)、鼓泡
▲*.*.*.*槽体材质:****槽体或****槽
*.*.*.*槽体尺寸:≥****************(有效尺寸)
*.*.*.*使用温度:**-**摄氏度(无尘间室温)
▲*.*.*.*过滤方式:***过滤器**英寸,滤芯精度:*μ*
*.*.*.*液位方式:氮气液位
*.*.*.*进液方式:自动进液
*.*.*.*药液寿命:药液使用周期分为时间寿命和批次寿命可选择
▲*.*.*.**循环方式:****磁力泵循环、上溢流下进液
*.*.*.**排液方式:自动排放进厂务排废管排液方式低于**°*
*.*.*.**槽盖:自动槽盖、关盖角度小于**°
*.*.*.**流量计:电子夹管流量计
▲*.*.*.**循环流量:在过滤器后端最高可达到***/***
▲*.*.*.**具备自动固定点位及时刻点可编程控制的药液取样、**值及电导率检测等能力
*.*.*氮气烘干槽
*.*.*.*介质:氮气
*.*.*.*工能:**与*寸兼容
★*.*.*.*槽体材质:******(提供材质报告)
*.*.*.*槽体尺寸:****************(有效尺寸)
▲*.*.*.*使用温度:**-**摄氏度
▲*.*.*.*加热方式:在线加热氮气式
*.*.*.*排液方式:直排
*.*.*.*槽盖:自动槽盖
*.*电器部分
*.*.*电箱部分
▲*.*.*.*配有配电箱,电路方面进行功能分块,强电、弱电分块,以便于维护;
*.*.*.*设备设有换风系统,保证电箱内空气流通,具有良好的散热功能
*.*.*.*所有的电控系统均装有漏电保护器接,并有可靠的接地装置及紧急关机和报警系统;
*.*.*控制部分
*.*.*.*设备使用时分为自动和手动部分,自动运行时不可以进行任何其他操作,发生问题时请按下急停装置,急停按下时所有工作暂停使用,严禁自动运行进行手动操作;
*.*.*.*人机界面:采用专业先进的图形用户界面,操作简单,易于掌握,能根据需要完成轨迹编辑和修改。
▲*.*.*.*设备控制软件权限采用分级管理功能,设有作业员、工艺工程师、设备工程师、管理员等不同用户角色,可存储编辑的工艺菜单程序不少于***条。
*.*.*.*提供操作软件的编译、传输、拷贝工具、备调试完成后的系统备份、各存储器的软件及程序备份,并将所有程序备份存储在随机携带的程序编译、存储工具中。
*.*.*.*历史记录存储功能:可记录重要的操作信息、菜单运行信息、报错与警告信息等,记录可导出。可实现工艺作业历史数据存档及显示,可查询历史批次作业信息,相关作业数据能够使用***盘导出;控制程序和软件可以方便的通过数据线导入和导出
*.*.*.*设备产生报警后可选择是否清除当前作业记录,如不清除,报警处理完成后可继续作业。
*.*.*.*槽体控制:每*个槽体在电脑端有对应的单独的控制面板,药液槽有温度显示、液位显示、状态显示单独功能按钮,***槽有每个槽体单独启动/停止按钮,单独喷淋、进水、鼓泡、排水等选项;
*.*.*.*设备通过调整菜单,`每个工艺单独及组合清洗的工艺;在每个工艺槽的相应水槽清洗后,可实现单独干燥,也可进行组合工艺及冲水完成后再干燥。(化学液槽可设定不同的工艺时间、温度、超声功率等,水槽可编辑不同的冲水流程、时间等).
*.*.*.*警示灯、蜂鸣器、紧急停止
*.*.*.**电脑屏功能:有设备手动运行按钮,按照管路图设定画面对设备完成实时监视,每个槽体各种功能监视,包括温度、液位、槽盖状态、机械手到位状态、泵和阀门的启停、报警显示、报警记录。
*.*.*.**界面设定:各种参数设定,管理人员、工艺人员、操作人员的界面等。
*.*.*.**所有配有化学品槽体均配备液位传感器,防止泵浦空转,
*.*.*.**机械手有固定时间内自动回归原点,解除机械和电器误差;
*.*.*.**设备断电保护功能,保护因为意外停电造成的程序故障;
*.*.*.**设备具有报警信息自动记录系统
*.*.*.**单独槽体屏蔽时可以手动操作
*.*.*.**槽体温度控制可以设置补偿值
*.*.*.**提供设备的关键工艺参数***地址,(投入、产出、补液记录、补液校准、位置校准、速度),供***系统或大数据平台采集及开发使用
*.*机械手系统
*.*.*机械手左右平移
▲*.*.*.*横移电机:伺服电机
*.*.*.*功率:****+减速机
*.*.*.*速度控制:平移启动稳定,加速平移,减速停止
▲*.*.*横移直线模组:皮带模组
*.*.*机械手上下抓取
▲*.*.*.*横移电机:伺服电机
*.*.*.*功率:****+减速机+刹车
*.*.*.*速度控制:升降启动稳定,加速升降,减速停止
▲*.*.*.*上下直线模组:皮带模组
▲*.*.*.*负荷:****
*、随机配置清单(包括专用工具)
序号 |
名称 |
单位 |
数量 |
* |
***阀门 */*寸 |
个 |
* |
* |
药液流量计 |
个 |
* |
* |
氮气压力传感器 |
个 |
* |
(*)商务要求:
*、技术服务条款:
技术文件:
*)合同生效后*个月内,中标人需提供详细的设备公共配套设施技术要求和设备布局尺寸图给采购人;
*)中标人需免费提供*套可用于超净间的中文或英文操作说明书,*套在合同签订后**天内提供给采购人,另*套随仪器包装提供给采购人;
*)以上文件另需提供*份电子版文件;
*)中标人需提供中标设备的出厂验机报告。
售后服务要求:
*)免费提供技术工程师上门安装、调试及现场培训,培训涉及机器使用的各个方面:系统操作,机器维护等,根据客户的特殊需要,可以个性化定制课程内容,确保采购人能熟练掌握设备使用、数据分析及日常维护保养。供应商售后服务响应时间:提供****小时专线技术咨询服务,若电话咨询无法解决故障,则*个工作日内现场解决,重特大故障*周内现场解决。
*)供应商免费提供技术支持热线电话。
*)质量保证期从验收合格之日起,提供货物**个月免费保修服务(保修期内免备件费和人工费)。质保期内正常使用中出现的任何故障,均可保证负责无偿调试及维修,所更换的部件可享受顺延保修期优惠,质保期后可享受优惠价格的*配件供应。
培训要求:
免费提供技术工程师上门安装、调试及现场培训,培训涉及机器使用的各个方面:系统操作,机器维护等,根据客户的特殊需要,可以个性化定制课程内容,确保采购人能熟练掌握设备使用、数据分析及日常维护保养。培训次数不少于*次,培训时间不少于**小时。
*、包装要求:
应使用崭新坚固的包装(标准包装),适合于空运、或*运等长途运输方式;适合气候变化;投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、费用增长等后果负责。
*、交货日期:
合同签订后的*个月交货;
*、到货口岸及交货地点:
关境外供货产品到货口岸:****机场
关境外供货产品交货地点:****
关境内供货产品交货地点:****
*.验收标准:
*)仪器设备出厂发货前,供应商应与采购方共同到场验收,出厂验收合格后,再进行发货;仪器设备运抵安装现场后,采购人将与供应商共同开箱验收,并形成经双方认可的记录,如供应商届时不派人来,则验收结果应以采购人的验收报告为最终验收结果。验收时发现短缺、破损,采购人有权要求供应商立即补发和负责更换。
*)供应商应提供仪器设备测试方案给采购人确认,供应商有责任对采购人的技术人员提出的问题作出解答。仪器设备测试应进行详细记录,测试结束后,由供应商技术人员签字后交给采购人验收。
*)保修期自验货合格之日开始,保修期内供应商要保修除消耗品以外的所有部件。在保修期内,如果仪器设备发生故障,供应商要调查故障原因并修复直至满足最终验收指标和性能的要求,或者更换整个或部分有缺陷的材料。以上都应是免费的。
*)验收标准以中标人提供的投标文件中所列的指标为准(该指标应不低于采购文件所要求的指标)。任何虚假指标响应*经发现即作废标,供应商必须承担由此给采购人带来的*切经济损失和其它相关责任。
*)验收由采购人、中标人及相关人员依国家有关标准、合同及有关附件要求进行,验收完毕由采购人及中标人在验收报告上签名。
*)最终采购人采购仪器设备无法达到正常使用条件,售后服务方在收到最终采购人通知后应及时妥善解决,响应时间不超过**小时,经*次售后维修未能达到最终采购人认可的使用条件时,或以上情形发生后**日内依旧未能解决的,最终采购人有权要求卖方更换符合招标要求的设备、并承担更换的费用,如果更换后依旧不能达到甲方认可的使用条件的,采购人有权启动退货程序,根据法律规定的退货产生的全部费用由卖方承担,包括但不限于律师费,诉讼费、担保费、公证费、差旅费等合理费用。
*、执行的相关标准
国际半导体产业协会(****)标准
*、其它
对仪器设备生产厂家要求:
*.厂家应具备*定规模的科研、生产、技术支持及售后服务能力。
*)厂家在国内设有技术支持中心及维修中心。
*、付款方式:
对于关境外供货产品:
**%采用即期不可撤销信用证,凭整机装运单据和设备出场合格证明文件支付;**%凭采购人代表签字并加盖单位章后的验收报告**支付。
对于关境内供货产品:合同签订后支付**%,货物送达时支付**%,验收合格后支付**%;
★*、投标报价要求:
*)本项目允许采购进口产品,进口产品与服务报项目现场交货外币免税价。
价格包括:
*)*******
*)其他伴随服务费用:
①安装与调试、验收、检验、培训、技术文件的移交、质保期服务、技术服务及采购文件要求提供的其它服务。
(*)国产产品与服务报项目现场交货人民币含税价。报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费。采购人不再另行支付其他任何费用。
关境内供货的国外产品与服务报项目现场交货人民币含税价(报价中需包括制造、装配和发运货物所使用的材料、部件及货物本身已支付或将支付的产品税、销售税和其它税费)。采购人不再另行支付其他任何费用。
(*)如投标产品中既有进口产品又有国产产品或者国内供货的国外货物应采用外币免税价加人民币含税价的报价方式。
(*)上述价格的构成须按在分项报价表中格式要求详细列出。
**、是否允许采购进口产品:是
**、最高限价:****人民币
★**、供应商同意并保证尊重任何他方的知识产权及其它合法权益,承诺其所提供的产品或服务均不得侵犯第*方知识产权及其它合法权益,否则所引起的全部责任均应当由供应商承担。